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卯林校准与维修服务

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卯林MFC维修校准服务
时间：2023-03-13 22:07 点击次数：

  我们可以修复半导体行业的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等
  对于Cl2和Br2 MFC，我们建议客户更换新的，我们也可以提供1对1的交换服务。
                       品牌 型号
                Brooks(Unit)
 GFC100
GFC120
GFC125
                Unit
 8 Series
1 Series
3 Series
               Brooks
5 Series
               MKS 4 Series
1 Series
               Horiba
N 1 Series
SEC-4 Series
Z500 Series
                 AE
 
FC-9 Series
FC-7 Series
FC-R Series
MFC Common Failure/Issue
  • 流量不稳定（Flow unstable/Having Spike）
  • 实际流量偏差超出规格（Actual flow out of SPEC)
  • 流量无法控制 （Flow cannot be controlled)
  • 响应时间延迟 （Flow response time delay)
MFC 服务范围
  • 已修复MFC保修：6个月
  • 耗材更换：O形圈、金属密封、阀门、电气部件
  • MFC内的气体配件和管道清洁（超声波和化学）
  • MFC集成PCB修复
  • 完井测试（功能和泄漏）
MFC服务完成测试
  • MFC内部和外部泄漏测试
  • MFC特定点流量测试
  • MFC设定点流量特定循环测试
  • MFC功能老化测试（10小时）

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