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OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上，能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑，且无移动部件，适合在半导体工业流程中用于连续的现场气体监测。
内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互，使得它们可以简单的整合进任何工业流程。
SiF4
规格参数
支持的气体
SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他气体
规格参数
测量原理 ：非色散紫外吸收法
应用 ：现场测量
光源 ：脉冲红外发射器
材料 ：抗腐蚀的光学元件,
不锈钢接触液体的部件
尺寸 (高x宽x长) ：5.00” x 8.75” x 3.25” (包含光源和探测器)
重量 ：< 5 lbs
模拟输出 ：出厂设置为 0 – 1, 5, 或 10 volt
数字交互 ：RS-232 C和可选的GUI交互
响应时间 ：< 10秒
电源 ：15 VDC – 小于 10 瓦特 (可选AC 电源)
采样端口 ：KF16 – 304 SS (可选其他选项)
校零 ：支持远程校零
漏气测试 ：真空密封测试
软件 ：嵌入 (标准) - Labview GUI 交互(可选)
认证 ：CE
保修 ：1 年
特征
NDIR 非色散红外测量法
适用于任何吸收红外光的气体
响应时间快
高敏感度
气体特异性
无耗材
无移动部件
GUI LabView软件(可选)
