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470是溶解臭氧测量模块，为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”， 能够满足高纯度半导体过程的需求，并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术，且摆脱了对参比液体测 量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包 裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模 拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报 告测量的浓度。
技术指标
产品特点
技术指标
- 测量原理 ：紫外吸收法，双路取样传感技术
- 紫外光源 ：低压汞灯
- 测量单位 ：ppmw, mg/L
- 量程 ：高达150 mg/L (150 ppmw)
- 精度 ：0.5mg/L 或 1%读数 (以较大值为
- 准）
- 水流量 ：高达150 SLPM
- 采样端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 连接
- 最大压强 ：55 PSI
- 接触材料 ：特氟龙, 蓝宝石, 与半导体流程相容
- 外壳 ：聚四氟乙烯特氟隆
- 尺寸 ：5.69” 宽 x 6.8” 高 x 3.2” 长 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
- 维护 ：紫外灯每24个月替换一次 无其他预定维护
- 电缆 ：特氟龙外层
- 电源 ：+15 VDC
- 认证 ：CE 认证
- 模拟输出 ：4到20mA或0到5VDC，出厂时选择
- 数字 I/O ：RS-232 或 RS485，出厂时选择
- 远程校零 ：通过DB15进行远程零点校准
产品特点
- 现场检测
- 在线且全流量监测
- 直线通过的流型
- 无移动部件
- 无消耗品
- 测量范围最高达150 mg/L
- 远程零点校准
- 高精度紫外吸收法
- 双光道采样感应技术
- 不需求日常维护
- 半导体级别湿式材料
- 紧凑的特氟龙外壳
- 特氟龙7包裹的内部连接电缆
- 液态溶解臭氧
- 半导体湿法清洗系统
- 超纯水系统
- 制药业
- 水处理
- 其他工业过程
