服务热线
13621619949
我们可以修复半导体行业的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等
对于Cl2和Br2 MFC，我们建议客户更换新的，我们也可以提供1对1的交换服务。、
MFC Common Failure/Issue
- 流量不稳定（Flow unstable/Having Spike）
- 实际流量偏差超出规格（Actual flow out of SPEC)
- 流量无法控制 （Flow cannot be controlled)
- 响应时间延迟 （Flow response time delay)
MFC 服务范围
- 已修复MFC保修：6个月
- 耗材更换：O形圈、金属密封、阀门、电气部件
- MFC内的气体配件和管道清洁（超声波和化学）
- MFC集成PCB修复
- 完井测试（功能和泄漏）
MFC服务完成测试
- MFC内部和外部泄漏测试
- MFC特定点流量测试
- MFC设定点流量特定循环测试
- MFC功能老化测试（10小时）
